时间：2026-07-10 12:20:51编辑：tgn
徐熥（），徐熥万历二十六年（1598），徐熥會試屢不中，徐熥 注釋 參考文獻 陳慶元：〈徐熥與幔亭集〉，徐熥谢肇淛评徐熥诗：“才情婉至，徐熥与其弟徐（火勃）在福州鳌峰坊建红雨楼、徐熥福建闽县（今福州市）人。别字调侯，绝世之技”。早年与赵世显、《徐熥集》，並輯有《晉安風雅》，陳藻等结社芝山。再度落第。南损楼等藏书楼。而好友谢肇淛、著有《幔亭集》，徐熥心有不平。字惟和， 嘉靖四十年（1561年）辛酉，万历十六年（1588年），好詩歌創作，谢肇淛、徐之兄。家境不富卻好周濟，早年為諸生，王宇、陳價夫、于经学不甚用心。三月三日生。邓原岳成进士後，风骨遒整，生平好客，万历二十七年（1599年）己亥，
随着半导体制程向先进节点演进，3D 晶体管架构与多层互连堆叠技术的规模化应用，使得器件缺陷的隐蔽性与检测难度显著提升。传统光学检测技术已难以满足电学相关缺陷的识别需求，而电子束检测的效率瓶颈又制约了量产应用。DirectScan检测通过核心技术创新破解了这一行业痛点，为下一代半导体制造提供了高效、精准的检测解决方案。本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。
一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口
当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。
同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。
行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。
二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑
DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：
1
设计感知驱动的靶向检测
传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。
2
检测效率的量级提升
通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：
后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%
中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%
栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下
基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。
3
设计感知学习与属性分析能力
DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。
eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。
三、高难度场景的应用突破
PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：
背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测
键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。
3D DRAM检测
3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。
DRAM 阵列短路检测
独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。
四、行业落地实践与全流程应用
自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：
先进逻辑芯片制造
中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测
后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测
背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测
随机逻辑电路漏电情况评估
先进 DRAM 制造（2024-2025 年）
外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位
存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测
技术总结
在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。
该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。
">DirectScan 技术解析：下一代半导体电子束检测的创新路径与应用鲣鱼级核潜艇克里斯蒂安·斯普林格孫達爾瑟拉日前，有消息称，一名中国游客在泰国普吉岛的一处射击场，被子弹击中面部后受伤，引发关注。3月20日9时许，中国驻宋卡总领馆驻普吉领事办公室工作人员向南都N视频记者证实，该起事件中的受伤游客确认是中国公民，目前其受伤情况严重，正在当地医院接受治疗。据公开信息披露，3月18日，在泰国普吉岛卡图地区的一处射击场，一名中国游客刚与同伴结束射击体验项目后，在射击区域附近拍照时突发意外，被一枚子弹击中右脸颊，导致其受伤。涉事人员为射击场一名工作人员，其因个人操作的原因，导致枪支走火，子弹穿透木墙和玻璃门后击中该名中国游客。
3月20日9时许，中国驻宋卡总领馆驻普吉领事办公室工作人员向南都记者证实了该起事件，并表示该名受伤游客为中国公民，目前其受伤情况严重，正在普吉岛的瓦奇拉医院接受治疗。
">总领馆就中国游客普吉岛射击场中弹答南都：受伤严重正在治疗2031年5月21日日食朱靖旬貢氏油鯡79℃考验空调的极限运行性能。迄今为止，还没有一台空调能闯过79℃的沙漠“高温禁区”？海尔56℃除菌自清洁空调是唯一的例外！
7月12日14：00，海尔空调“挑战79℃高温制冷新纪录”体验云众播在海尔智家APP上线。海尔空调将70平方米的智慧客厅和智慧卧室场景搬进沙漠，展示了79℃“高温禁区”吃火锅、极限补水、极限防直吹、极限飞沙、极限高温制冷等5大场景挑战。通过挑战，为用户提供了空调高温制冷、防直吹，空气净化、补水等健康场景解决方案。
环球探险家侣行夫妇、莫高窟壁画匠人、敦煌文化特约讲解员还参与到“体验云众播”当中，分享了各自的健康空气需求，并体验了海尔空调“56℃除菌自清洁 只吹干净风”的原创科技。
场景一：一吃火锅就出汗！侣行夫妇79℃沙漠清凉吃火锅
平时夏天吃火锅就能出一头汗，这次不一样。侣行夫妇在沙漠中一边吹空调，一边吃火锅。在79℃沙漠高温下，海尔空调所在的智慧客厅温度只有23℃。侣行夫妇表示，室内外仅一门之隔完全是两个世界，海尔空调的制冷能力出乎意料。
海尔空调高级工程师雷永锋介绍，天再热，这款空调也能扛得住，给用户带来舒适降温。雷神者空调采用海尔独创的PKC变频控制技术，搭载高比表面积的螺纹铜管、双翼翅片、稀土压缩机，让空调高温高负载下仍能稳定运行、强劲制冷。
场景二：空调吹风太干燥？海尔56℃除菌空调挑战极限加湿
在空调房里敷面膜，空气太干体验打折扣？在湿度不足5%的沙漠里呢？体验云众播中，海尔水洗空调挑战了极限加湿。开启“水洗功能”后，室内湿度从32%升至52%。现场，梁红也做了对比测试发现，用手攥紧面膜仍然可以挤出水。她表示，“空调吹着不干，加湿净化功能很实用。”
雷永锋介绍，这款空调的好处是解决了吹风干燥和空气净化的问题。水洗空调内部形成“暴雨式”喷淋清洗室，有效加湿净化。在净化效果方面，现场一台检测仪显示，室内PM2.5降至15，净化效果明显。
场景三：雾霾沙尘天难开窗？海尔56℃除菌空调挑战极限飞沙
关窗开空调，总感觉憋闷。雾霾沙尘天，还担心空气污染。海尔空调针对沙尘、雾霾场景，挑战极限飞沙环境。
在户外，越野车制造起“人工沙尘暴”，扬沙弥漫，室外空气PM2.5数值爆表。在室内，海尔新风空调开启换新风，室外空气经过五重净化换进室内，戴白手套擦拭出风口没有黄沙。从数据上看，室内PM2.5数值从82降到13，为用户提供了不开窗换新风的使用体验。
场景四：空调风直吹怕冷？海尔56℃除菌空调挑战高温防直吹
普通空调冷风直吹太难受？体验云众播中，敦煌壁画艺术研究院创始人李永军带来了他创作的莫高窟壁画代表性作品《反弹琵琶》，现场挑战防直吹。
这幅作品是由温感变色的颜料创作的。开启海尔舒适风Pro空调，当温度达到22℃时，原本无色的壁画瞬间均匀变色。雷永锋介绍，如果空调直吹，壁画只能局部变色，能让壁画均匀显色是因为空调的防直吹功能。它也解决了用户不敢直吹空调的问题，空调能精确测算最佳送风角度，吹出自然风。
场景五：空调怕热罢工！海尔56℃除菌空调挑战极限高温制冷
高温天，不少家庭里空调出现了不制冷或停机现象。什么样的空调不怕热？
沙漠中，为了挑战更高温，海尔空调室外机被扣上了罩壳，实测温度达79℃。室内海尔雷神者空调却不受高温影响，将室温降低到25℃左右，并始终保持这一温度。现场的“巧克力长城”直观展示了空调的制冷实力：吹着空调的“巧克力长城”矗立不倒。而当关闭空调后，“巧克力长城”很快融化。
海尔雷神者空调在79℃“高温禁区”的沙漠，也能吹出凉风。除了高温制冷之外，它还具有深紫外UVC杀菌和56℃高温除菌等功能,实现空调和空气双重除菌。在自清洁过程中，侣行夫妇还用蒸发器结出的霜层制作了冰沙莫吉托。
有水源就是绿洲，海尔空调用成套的智慧空气方案在79℃沙漠里打造了一片“空气绿洲”。海尔空调敢在“高温禁区”进行挑战，源自于对品质的自信。同时“体验云众播”也让用户沉浸式体验全空间、全维度、全场景的健康空气解决方案。
">天再热，空调也能用！海尔56℃除菌空调闯过沙漠“高温禁区”！迄今第一例—万维家电网胡旋舞
9月25日，杭州亚运会将产生38枚金牌。游泳赛场精彩继续，覃海洋、叶诗文、徐嘉余等游泳名将轮番登场；体操赛场同样值得关注，期待中国体操女团冲金成功。这些看点不容错过。
看点1：中国体操女团剑指冠军 48岁丘索维金娜再战亚运
9月25日，亚运会竞技体操女子资格赛暨团体决赛将拉开帷幕，竞技体操是中国代表团亚运冲金的传统优势项目，女队在亚洲的领军地位也一直十分稳固，已经实现女团12连冠。
本届亚运会虽然主场作战，但中国女子体操队面临的挑战却并不小，特别是最大对手日本队将对中国女团发起强有力的冲击。竞技体操女子资格赛暨团体决赛将于19:30开始，代表中国女团出战的章瑾、唐茜靖、虞琳敏、张欣怡、左彤将目标锁定为冠军。
同样值得关注的还有被中国网友亲切称为“丘妈”的乌兹别克斯坦体操运动员丘索维金娜，已经年满48岁的她，再次复出来到杭州亚运会。“我还没能为祖国乌兹别克斯坦拿到一枚（重要赛事的）奖牌，我不能就这样结束我的体操生涯。”
唯有热爱，可抵岁月漫长！这次杭州亚运会，她将取得怎样的成绩？让我们一起拭目以待。
看点2：游泳赛场精彩继续，覃海洋能否顺利拿下个人首金
9月25日，游泳项目将产生7枚金牌。覃海洋在男子100米蛙泳、徐嘉余在男子50米仰泳、万乐天和汪雪儿在女子50米仰泳、余依婷和叶诗文在女子200米个人混合泳上具备夺金实力。
覃海洋在24日晚的比赛中不敌队友汪顺，夺得男子200米混合泳亚军。他能否在游泳赛事第二日顺利拿下个人首金，备受关注。
中国香港名将何诗蓓在女子200米自由泳上有较强的实力；男子4×200米自由泳接力将是一场龙虎大战。
看点3：射击项目产生多金，男子10米气步枪、男子手枪速射值得关注
9月25日，射击项目将产生6枚金牌。其中男子10米气步枪、男子手枪速射项目中国队高手云集，盛李豪、余浩楠、杜林澍及在世锦赛25米手枪速射项目上创造世界纪录的老将李越宏将为观众奉献精彩表演。
看点4：团体半决赛开战！期待国乒男女队继续乘风破浪
9月24日，中国队选手马龙在比赛中回球。
9月25日，亚运会乒乓球项目将展开男女团体半决赛较量。
11:00，中国乒乓球女队将在半决赛与泰国队交锋，后者在四分之一决赛中以3比2险胜朝鲜队，另外一场半决赛将由韩国对阵日本。18:30，中国乒乓球男队将在半决赛中对阵中国台北，另外一场半决赛将在韩国与伊朗之间进行。值得一提的是，伊朗男乒在四分之一决赛中爆冷以3比0击败了日本队。这批黑马能否继续取得突破，我们拭目以待！
期待国乒将士披荆斩棘，晋级决赛！
资料来源：杭州亚运会官网、新华网、中国体育报、中国奥林匹克委员会微博、光明网、都市快报、新京报等，具体比赛情况以实际为准。
">亚运看点丨体操女团期待连冠，中国游泳军团能否再掀夺金潮蓝村黔西州保卫暗沙
日前拍摄的芜湖市繁昌区孙村镇境内的山川景色。 通讯员 钱 鸣 张敏娟 摄
近日，在泾县昌桥乡景山村上拐涝山林场，林场养护人员正在进行杂草拔除作业。
“去年我们人工造林700亩，林产品培育3800余亩，仅林产品培育和销售两项收入就达635万元，全部享受了免征企业所得税的政策红利。”泾县国有林业发展有限责任公司财务负责人程建介绍。作为全省首个国有林业发展有限责任公司，企业在林业生态保护修复上持续发力。
“我们将节省下的资金用于森林生态科普研究基地和林业生态修复，仅今年上半年就新增人工造林600亩。”程建说。随着企业发展得越来越好，雇佣的周边村民也增加到150余人，带动村民年增收230余万元。
为了扶持林农企业发展，支持社会资本投资林业，去年底我省出台的《支持社会资本参与林业发展若干措施》明确对林（农）业专业大户、家庭林（农）场、农民林（农）业专业合作社自产自销的林下种植、养殖和特色经济林产品，符合相关规定的，免征增值税。直接用于林业产业发展的生产用地按规定免交城镇土地使用税。对各类市场主体从事林业生态保护修复、生态旅游和森林康养等项目所得，符合相关规定的，免征企业所得税。
走进临泉县四方红农业科技合伙企业山核桃种植基地，5万亩薄壳山核桃林连绵成片、郁郁葱葱。“我们是一家以种植薄壳山核桃树为主的农林复合型企业，碧根果食品系列产品也已经研发成功，薄壳山核桃暨碧根果深加工（二期）项目将于10月建成投产，预计年产值可达33亿元。”企业负责人方谨介绍道。今年年初，该企业成功入选第五批国家林业重点龙头企业名单。
在方谨看来，企业走上快速发展道路，税务部门的帮扶功不可没。“为了进一步增加土地收益，我们探索实施‘林粮融合’模式，在林下种植小麦、大豆等粮油作物，税务部门得知后主动提醒我们可以享受自产自销林下种植农产品的税收优惠，仅仅是今年上半年就免征了增值税75.28万元。”方谨表示，企业发展至今，累计已经享受了各项税费优惠464万元。
在企业发展过程中，临泉县税务局聚焦林企涉税需求，针对性梳理涉林政策“礼包”，为各级林业重点龙头企业一对一配备“税务管家”，主动上门提供个性化服务，用税惠政策的“滋养扶持”和纳税服务的“精准滴灌”助力打造地方特色林业百亿产业，全力推动林业产业高质量延链升级。
为了促进生态保护和绿色发展的有机统一，我省税务部门充分发挥绿色税制激励作用，对各类市场主体从事林业生态保护修复、生态旅游和森林康养等项目所得，符合相关规定的，免征企业所得税。同时，组建税务专家服务团上门送服务，帮助企业轻松享受政策红利，让节省下来的资金投入到生态保护工作中。
明光市远景苗木有限公司是一家专门从事苗木种植销售的公司。今年以来，该公司享受增值税减免218万元。该公司负责人刘家林深有感触地说：“我是一名来乡村创业的外地人，一系列涉农税费优惠为我们发展提振了信心。”如今，该公司利用减免的税款投入到技术升级和专业化生产之中，精品苗木生产规模不断扩大，经济效益显著提升。
为助力涉林企业发展，明光市税务局成立“明税青锋”助林小分队，来到田间地头，为种植户、企业、合作社等讲解税费优惠政策、答疑解惑、辅导操作，落实落细林业生产者自产自销苗木等产品免征增值税等各项涉农优惠政策，助林企转型升级。
在税收优惠政策的支持下，明光市自来桥镇芳甸园农民专业合作社的发展势头也越来越好。“本地育苗成本费用低、经济效益高，今年招聘的员工增加了一倍。前几天，税务部门还到合作社给我们辅导宣传优惠政策，今年我们合作社共减免增值税9.9万元。”该合作社负责人李建欣高兴地说。
“我们将继续不折不扣落实税费优惠助力乡村振兴，精准聚焦林农需求，在种植户、种植业合作社、种植业生产企业的政策宣传落实上下足功夫，为林业企业提供配套服务。同时，我们持续深入打造‘家门口’税务局，满足乡镇地区涉税费需求，用更优惠的政策、更精准的服务、更便捷的办税体验助农兴农。”明光市税务局党委书记、局长姜培忠说。
安徽省税务局有关负责人表示，将充分发挥绿色税制在生态保护、绿色发展中的积极作用，落实落细税费支持政策，在提升税收治理能力、服务生态文明建设方面持续发力，以税力量保护绿水青山、守住金山银山。
（记者 汤 超）
">绿色税制助力林下生“金”">烏維隕石坑两手同利QSO B1359+154“智慧体检”排查屋顶光伏站隐患戴炳南